森瑞客服
贵宾留言
产品中心您现在的位置: 首页 - 产品中心 - 长度、光学测量仪器 - 激光干涉仪
微型激光干涉仪

微型激光干涉仪
 
 

   VI-Vario是一台微型激光干涉仪,测量口径包括:10 mm, 16 mm, 28 mm, 50 mm及100 mm,可由用户选择。可以垂直、倾斜或水平使用。非常适宜于车间及生产线使用,价格仅为2万至4万欧元。
功能包括:
光学平面的平面度测量;
球面度测量
曲率半径测量(分辨率0.1微米至10微米,可选)
评估方式:
肉眼或软件辅助(条纹评估软件)范围与所需的参考球径的关系示意图
技术数据:
激光干涉仪类型
FIZEAU条纹评估
光源
HeNe激光器
工作波长
632.8 nm
输出光束直径
10 mm, 16 mm, 28 mm, 50 mm或100 mm
根据所选的光管不同
测量精度
λ/10 p-v,肉眼       λ/20 p-v,通过软件辅助
参考平面
λ/30 p-v,直径大至50 mm   
λ/20 p-v,直径大至100 mm
参考球面
λ/10 R25, 直径10 mm, 16 mm, 28 mm
λ/10 R50, 直径50 mm
λ/10 R80, 直径100 mm
λ/10 R120, 直径100 mm
λ/10 R300, 直径100 mm
λ/10 R1000,直径100 mm
λ/10 R1500,直径100 mm