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MI Series微型后反射干涉仪

MI Series微型后反射干涉仪
 
 

用途:
超精密距离测定;
计量用具的校正;
显微镜位置决定系统的位置校定
机械坐标校定
角度测定等。
性能参数:
型号: MI Series
MI60
MI150
MI5000
测定距离范围(mm)
60
150
5,000
刻度分辨率(nm)
1.24
1.24
1.24
额定波长(nm)
632.8
632.8
632.8
激光预热时间(min)
1
1
10-20
尺寸(HxWxD)
传感器头
 后反射器
 光电信号处理单元
 键盘/显示单元
 
22×50×100
13×30×15
150×450×400
48×190×138
接口界面
RS-232 / IEEE-488
PC 用插板(可选件)
ISA-bus
传感器头重量(g)
200
光纤长度(m)
3m 到25m(可选)
电源
100-240VAC
注:) 1. 工作温度范围: 15-30℃
      2. 最大后反射传输率(Retro-reflector Translation Rate): 600mm/s