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SP series 微型平面反射镜式干涉仪

SP series 微型平面反射镜式干涉仪
 
 

用途
超精密激光距离测定;
单轴/2轴/多轴用正交坐标的校正;
显微镜位置决定系统;
工作机械位置测定;
平面内的两座标测定;
精密角度和距离的同时校正;
振动的测量;
角度的测量;
距离测定仪器的校正;
非接触表面测量。
性能参数
型号:SP Series
Model SP 120
Model SP 2000
测定距离范围(mm)
100
2,000
刻度分辨率(nm)
1.24
1.24
额定波长(nm)
632.8
632.8
激光预热时间(min)
1
10-20
尺寸(HxWxD)
传感器头
光电信号处理单元
 键盘/显示单元
 
36×70×70
150×450×400
48×190×138
接口界面
RS-232C/IEEE-488
PC 用插板(可选件)
ISA-bus
传感器头重量(g)
200
光纤长度(m)
3m/ Upto 25m(Option)
电源
100-240VAC
注:) 1. 工作温度范围: 15-30℃
      2. 最大反射传输速率(Max. Mirror Translation Rate ): 600mm/s